Специализированные СЗМ-зонды на основе каркасных вискерных структур
Автор: Мухин И.С., Мухин М.С., Феклистов А.В., Голубок Александр Олегович
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры, исследования, приборы
Статья в выпуске: 3 т.21, 2011 года.
Бесплатный доступ
С помощью сфокусированного ионного пучка в присутствии газа-прекурсора на вершинах W- и Si-острий сформированы и визуализированы каркасные наноструктуры (КНС), составленные из проводящих нановискеров. Минимальный поперечный размер нановискера имеет величину ~ 15 нм. Обсуждаются перспективы использование КНС в специализированных СЗМ-зондах для сканирующей магнитной микроскопии и исследования поверхности дна и вертикальных стенок глубоких микро- и наноканалов.
Каркасные наноструктуры, вискеры, фокусированный ионный пучок, сканирующая зондовая микроскопия, сзм зонды
Короткий адрес: https://sciup.org/14264734
IDR: 14264734
