Синтез апертуры интерференционного поля

Автор: Турухано Борис Ганьевич, Турухано Никулина, Вилков Евгений Александрович

Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics

Рубрика: Наномасштабные изображения

Статья в выпуске: 2 т.35, 2011 года.

Бесплатный доступ

Описан синтез апертуры интерференционного поля в оптическом диапазоне, позволяющий записать широкоапертурные прецизионные линейные и радиальные голографические дифракционные решётки. Разработанный авторами метод фазовой модуляции позволил увеличить точность фазовых измерений при синтезе голографических дифракционных решёток, благодаря чему в настоящее время создаются линейные и угловые измерительные системы, обладающие наноразрешением.

Синтез апертуры, интерференционное поле, линейные и радиальные голографические дифракционные решётки, нанометрология, наноизмерительные системы

Короткий адрес: https://sciup.org/14058997

IDR: 14058997

Статья научная