Развитие эллипсометрии
Автор: Дронь О.С.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: 25 лет институту аналитического приборостроения РАН
Статья в выпуске: 4 т.12, 2002 года.
Бесплатный доступ
В работе приведено краткое изложение результатов разработок эллипсометров и теоретических подходов в ИАнП РАН за последние несколько лет. Рассмотрены метрологические возможности приборов и области применения. Приведены примеры анализа, сравнительного с существующими, нового способа оптимальной оценки измеряемых параметров и определения их погрешности с учетом корреляции.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264260
IDR: 14264260
Список литературы Развитие эллипсометрии
- Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с.
- Azzam R.M.A. Selected Papers on "Ellipsometry". 1991. SPIE Milestone Series, V. MS27. 707 p.
- De Nijs J.M.M., Van Silfhout A.//J. Opt. Soc. Am. Vol. 1988. V. 5, N 6. P. 773-781.
- Aspnes D.E.//J. Appl. Opt. 1975. V.14, N 5. P. 1131-1136.
- Aspnes D.E. Optical Properties of Solids New Developments/Ed. B.O. Seraphin. North Holland, Amsterdam, 1976. 799 p.
- Aspnes D.E.//J. Opt. Soc. Am. 1974. N 64. P. 639.
- Hamilton W. Statistics in physical science. N.Y., 1964. 430 p.
- Courdille M., Steers M. and Theeten J. B. Patent FR 2491234 (29 September, 1980).
Статья научная
