Расчет скорости плазмохимического травления кварца
Автор: Волков А.В., Казанский Н.Л., Колпаков В.А.
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Технологии и эсперименты компьютерной оптики
Статья в выпуске: 21, 2001 года.
Бесплатный доступ
Короткий адрес: https://sciup.org/14058461
IDR: 14058461
Статья
