Особенности технологии нанесения пиролитического алюминиевого покрытия с дополнительной оксидацией

Автор: Сатаев Евгений Есынович, Пугин Андрей Владимирович

Журнал: Известия Самарского научного центра Российской академии наук @izvestiya-ssc

Рубрика: Физика и электроника

Статья в выпуске: 4-3 т.14, 2012 года.

Бесплатный доступ

Описан способ получения пиролитических алюминиевых пленок из алюмоорганических соединений (триизобутилалюминия и сек-бутаксид алюминия). Описаны технологические особенности нанесения пиролитического комбинированного алюминиевого покрытия на установке «Хром-1».Представлены исследования структуры поверхности и защитных свойств покрытия.

Пиролитическое алюминиевое покрытие, пиролитическое оксилоалюминиевое покрытие, комбинированное покрытие, алюмоорганическое соединение

Короткий адрес: https://sciup.org/148201281

IDR: 148201281

Список литературы Особенности технологии нанесения пиролитического алюминиевого покрытия с дополнительной оксидацией

  • Алюмоорганические соединения. Перевод с немецкого под редакцией А.Ф. Жигача; М.: Иностранная литература, 1962.
  • Лариков, Жигач А.Ф., Попов А.Ф. и др. Термическое разложение алюминийалкилов//Химическая промышленность. 1964. №3.
  • Земсков Г.В., Артющенко И.И. Осаждение алюминия из газовой фазы//Защита металлов, 1970. №4.
  • Разуваев Г.А., Грибов Б.Г., Домрачёв Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике. М.: Наука, 1972.
  • Домрачёв Г.А., Жук Б.В., Хамылов В.К. и др. Исследование процесса осаждения плёнок алюминия из паровой фазы. ДАН СССР//Химия. 1976. Т. 226. №4.
  • Поляков С.М., Барышников Ю.Ю. Механизм формирования твёрдой фазы при термическом разложении триизобутилалюминия//Применение металлоорганических соединений для получения неорганических покрытий и материалов. Тезисы докладов VI Всесоюзного совещания. Нижний Новгород, 1991. Часть I. С. 21.
Статья научная