Об особенностях метрологического обеспечения эллипсометрии. Новый метрологический критерий
Автор: Бобро В.В., Семененко А.И.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Оригинальные статьи
Статья в выпуске: 1 т.10, 2000 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрены особенности метрологического обеспечения эллипсометрии. Предложен новый подход к метрологии эллипсометрии, в рамках которого разброс экспериментальных значений поляризационных углов Ψ и Δ по измерительным зонам рассматривается как объективный метрологический критерий. Приведены экспериментальные результаты по межзонному разбросу углов Ψ и Δ на образцах со сверхтонкими поверхностными пленками.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264114
IDR: 14264114
Список литературы Об особенностях метрологического обеспечения эллипсометрии. Новый метрологический критерий
- Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И. и др. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 422 с.
- Семененко А.И., Бобро В.В.//Автометрия. 1997. № 1. С. 43-49.
- Semenenko A.I., Bobro V.V., Mardezhov A.S., Semenenko E.M. A new metrological criterion in ellipsometry//Proc. SPIE. 1998. V. 3485. P. 336-342.
- Семененко А.И., Миронов Ф.С.//Физика твердого тела. 1976. Т. 18, № 11. С. 3511-3514.
Статья научная
