О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 12. Способы экспериментального определения положений гашения оптических элементов

В работе проведен теоретический анализ, охватывающий общий случай произвольных измерительных конфигураций, причем при любых значениях поляризационных углов PSI и DELTA, характеризующих исследуемую поверхность. Этот анализ позволяет изучить особые ситуации в измерении положений гашения оптических элементов, имеющие большое практическое значение, и наметить пути к устранению возникающих здесь трудностей. Классифицированы возможные методы измерения положений гашения оптических элементов (анализатора и поляризатора) для произвольной измерительной конфигурации, определяемой положением "быстрой" оси фазового компенсатора относительно плоскости падения светового луча. Обоснована возможность разделения (по конфигурациям) процесса измерения поляризационных углов PSI и DELTA в ситуациях, связанных с малыми значениями угла PSI. Рассмотрена задача о выборе единой оптимальной измерительной конфигурации, обеспечивающей достаточное разрешение по обоим поляризационным углам в случае малых углов PSI.