Электрические схемы емкостных датчиков микромеханического гироскопа RR-типа
Автор: Некрасов Я.А., Беляева Т.А., Беляев Я.В., Багаева С.В.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Исследования, приборы, модели и методы анализа
Статья в выпуске: 1 т.18, 2008 года.
Бесплатный доступ
В статье представлена модель емкостных датчиков микромеханического гироскопа RR-типа, выполненная в виде эквивалентной электрической схемы с межэлектродными и паразитными емкостями. Приведена методика расчета этих емкостей. На основе электрической цепи проведена оценка разрешающей способности микромеханического гироскопа, выполненного по технологии "кремний на изоляторе", определено влияние на резонансную частоту подвеса напряжения возбуждения емкостных датчиков.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264533
IDR: 14264533
