Измерение длины волны источников излучения эллипсометрическим методом

Предложена и реализована простая эллипсометрическая методика измерения длины волны монохроматического излучения с точностью до 10-3 нм. Достоверность результатов измерений по предложенной методике подтверждена результатами измерений сдвига спектра излучения светодиода в зависимости от температуры окружающей среды спектрофотометрическим методом. Методика основана на измерении сдвига фазы, зависящего от длины волны, между двумя ортогональными составляющими вектора электрического поля, приобретаемого при прохождении через анизотропную плоскопараллельную пластинку. Предложенная методика легко реализуется на серийно выпускаемых эллипсометрических приборах или миниэллипсометрах.