Изготовление методом лазерной абляции и исследование кремниевого фокусатора излучения терагерцового диапазона с непрерывным дифракционным микрорельефом

Изготовление методом лазерной абляции и исследование кремниевого фокусатора излучения терагерцового диапазона с непрерывным дифракционным микрорельефом

Автор: Тукмаков Константин Николаевич, Комленок Максим Сергеевич, Павельев Владимир Сергеевич, Кононенко Тарас Викторович, Конов Виталий Иванович

Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics

Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии

Статья в выпуске: 6 т.42, 2018 года.

Бесплатный доступ

Разработан и успешно применен метод высокочастотной лазерной абляции с использованием двухкоординатного сканатора луча для создания дифракционного оптического элемента терагерцового диапазона с непрерывным микрорельефом. Приведены результаты исследования микрорельефа полученного кремниевого фокусатора Гауссова пучка в квадратную область.

Дифракционный оптический элемент, лазер на свободных электронах, терагерцовое излучение, лазерная абляция

Короткий адрес: https://sciup.org/140238465

IDR: 140238465   |   DOI: 10.18287/2412-6179-2018-42-6-941-946

Список литературы Изготовление методом лазерной абляции и исследование кремниевого фокусатора излучения терагерцового диапазона с непрерывным дифракционным микрорельефом

  • Kulipanov, G.N. Novosibirsk free electron laser-facility description and recent experiments/G.N. Kulipanov, E.G. Bagryanskaya, E.N. Chesnokov, Yu.Yu. Choporova, V.V. Gerasimov, Ya.V. Getmanov, S.L. Kiselev, B.A. Knyazev, S.E. Peltek, V.M. Popik, T.V. Salikova, M.A. Scheglov, S.S. Seredniakov, O.A. Shevchenko, A.N. Skrinsky, S.L. Veber, N.A. Vinokurov//IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology. -2015. -Vol. 5, Issue 5. -P. 798-809. - DOI: 10.1109/TTHZ.2015.2453121
  • Walsby, E.D. Multilevel silicon diffractive optics for terahertz waves/E.D. Walsby, S. Wang, J. Xu, T. Yuan, R. Blaikie, S.M. Durbin, X.-C. Zhang, D.R.S. Cumming//Journal of Vacuum Science & Technology B. -2002. -Vol. 20, Issue 6. -2780. - DOI: 10.1116/1.1518021
  • Furlan, W.D. 3D printed diffractive terahertz lenses/W.D. Furlan, V. Ferrando, J.A. Monsoriu, P. Zagrajek, E. Czerwinska, M. Szustakowski//Optics Letters. -2016. -Vol. 41, Issue 8. -P. 1748-1751. - DOI: 10.1364/OL.41.001748
  • Агафонов, А.Н. Кремниевые дифракционные оптические элементы для мощного монохроматического терагерцового излучения/А.Н. Агафонов, Б.О. Володкин, А.К. Кавеев, Б.А. Князев, Г.И. Кропотов, В.С. Павельев, В.А. Сойфер, К.Н. Тукмаков, Е.В. Цыганкова, Ю.Ю. Чопорова//Автометрия. -2013. -Т. 49, № 2. -С. 98-105.
  • Knyazev, B.A. Real-time imaging using a high-power monochromatic terahertz source: Comparative description of imaging techniques with examples of application/B.A. Knyazev, V.S. Cherkassky, Yu.Yu. Choporova, V.V. Gerasimov, M.G. Vlasenko, M.A. Dem’yanenko, D.G. Esaev//Journal of Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves. -2011. -Vol. 32, Issue 10. -P. 1207-1222. - DOI: 10.1007/s10762-011-9773-x
  • Дифракционная компьютерная оптика/Д.Л. Головашкин, Л.Л. Досколович, Н.Л. Казанский, В.В. Котляр, В.С. Павельев, Р.В. Скиданов, В.А. Сойфер, С.Н. Хонина; под ред. В.А. Сойфера. -М.: Физматлит, 2007. -736 с. -ISBN: 5-9221-0845-4.
  • Агафонов, А.Н. Кремниевая оптика для фокусировки лазерного излучения терагерцового диапазона в заданные двумерные области/А.Н. Агафонов, Б.О. Володкин, С.Г. Волотовский, А.К. Кавеев, Б.А. Князев, Г.И. Кропотов, В.С. Павельев, К.Н. Тукмаков, Е.В. Цыганкова, Д.И. Цыпишка, Ю.Ю. Чопорова//Компьютерная оптика. -2013. -Т. 37, № 4. -С. 464-470.
  • Комленок, М.С. Создание линзы Френеля терагерцевого диапазона с многоуровневым микрорельефом методом фемтосекундной лазерной абляции/М.С. Комленок, Б.О. Володкин, Б.А. Князев, В.В. Кононенко, Т.В. Кононенко, В.И. Конов, В.С. Павельев, В.А. Сойфер, К.Н. Тукмаков, Ю.Ю. Чопорова//Квантовая электроника. -2015. -Т. 45, № 10. -С. 933-936.
  • Minkevičius, L. Terahertz multilevel phase Fresnel lenses fabricated by laser patterning of silicon/L. Minkevičius, S. Indrišiūnas, R. Šniaukas, B. Voisiat, V. Janonis, V. Tamošiūnas, I. Kašalynas, G. Račiukaitis, G. Valušis//Optics Letters. -2017. -Vol. 42, Issue 10. -P. 1875-1878. - DOI: 10.1364/OL.42.001875
  • Zeng, X. Experimental investigation of ablation efficiency and plasma expansion during femtosecond and nanosecond laser ablation of silicon/X. Zeng, X.L. Mao, R. Greif, R.E. Russo//Applied Physics A. -2005. -Vol. 80, Issue 2. -P. 237-241. - DOI: 10.1007/s00339-004-2963-9
  • Duparré, M. Investigation of computer-generated diffractive beam shapers for flattening of single-modal CO2 laser beams/M. Duparré, M.A. Golub, B. Lüdge, V.S. Pavelyev, V.A. Soifer, G.V. Uspleniev, S.G. Volotovskii//Applied Optics. -1995. -Vol. 34, Issue 14. -P. 2489-2497. - DOI: 10.1364/AO.34.002489
  • Pavelyev, V.S. Fabrication of high-effective silicon diffractive optics for the terahertz range by femtosecond laser ablation/V.S. Pavelyev, M.S. Komlenok, B.O. Volodkin, B.A. Knyazev, T.V. Kononenko, V.I. Konov, V.A. Soifer, Yu.Yu. Choporova//Physics Procedia. -2016. -Vol. 84. -P. 170-174. - DOI: 10.1016/j.phpro.2016.11.030
  • Her, T.H. Microstructuring of silicon with femtosecond laser pulses/T.H. Her, R.J. Finlay, C. Wu, S. Deliwala, E. Mazur//Applied Physics Letters. -1998. -Vol. 73, Issue 12. -1673. - DOI: 10.1063/1.122241
  • Sánchez, F. Characterization of the progressive growth of columns by excimer laser irradiation of silicon/F. Sánchez, J.L. Morenza, V. Trtik//Applied Physics Letters. -1999. -Vol. 75, Issue 21. -3303 (5 p.). - DOI: 10.1063/1.125332
  • Bonse, J. Femtosecond laser ablation of silicon-modification thresholds and morphology/J. Bonse, S. Baudach, J. Krüger, W. Kautek, M. Lenzner//Applied Physics A. -2002. -Vol. 74, Issue 1. -P. 19-25. - DOI: 10.1007/s003390100893
Еще
Статья научная
SciUp 2024 © 2024 ©