Газоразрядные приборы, формирующие направленные потоки внеэлектродной плазмы. Ч. I. Анализ и конструктивные особенности приборов
Автор: Казанский Н.Л., Колпаков Всеволод Анатольевич, Колпаков А.И., Кричевский С.В.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры
Статья в выпуске: 1 т.22, 2012 года.
Бесплатный доступ
На основе анализа газоразрядных приборов, генерирующих ионно-электронные пучки в высоковольтном газовом разряде, предложены новый подход к формированию широкоформатных направленных потоков низкотемпературной плазмы вне межэлектродного пространства и соответствующий газоразрядный прибор с целью применения его для изготовления микро- и наноразмерных дифракционных структур на широкоформатных пластинах.
Газоразрядный прибор, ионно-электронные пучки, внеэлектродная плазма, травление оптических материалов, формирование микрорельефа, формирование наноразмерных структур
Короткий адрес: https://sciup.org/14264767
IDR: 14264767
