Анализ зависимости разрешающей способности технологии локального термохимического окисления от параметров структуры светочувствительной пленки хрома
Автор: Агафонов Андрей Николаевич, Моисеев Олег Юрьевич, Корлюков Александр Александрович
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 1 т.34, 2010 года.
Бесплатный доступ
Исследовано влияние структуры пленки хрома на процессы термохимического окисления, стимулированного лазерным излучением. Приведены результаты численных и натурных экспериментов. Показана возможность записи структур с характерным размером меньше диаметра записывающего лазерного луча.
Хром, окисление, структура пленки, кристаллит, лазерная запись
Короткий адрес: https://sciup.org/14058911
IDR: 14058911
Статья научная
