Алгоритм управления профилем кристалла для автоматического выращивания методом Чохральского
Автор: Бородин А.В., Петьков И.С., Францев Д.Н.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: 10 лет ассоциации "Академприбор"
Статья в выпуске: 1 т.12, 2002 года.
Бесплатный доступ
Установки роста кристаллов нового поколения должны осуществлять процесс выращивания кристаллов в автоматическом режиме. Одним из условий получения качественных кристаллов является точное поддержание заданного профиля були. В системах управления с весовым контролем осуществляется сравнение программной силы с силой, действующей на датчик веса. В данной работе предложен алгоритм вычисления программной силы. В основе алгоритма лежит численное решение уравнения Бардсли. Представленный алгоритм позволяет задавать профиль кристалла как в виде функции, так и поточечно.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264219
IDR: 14264219
Список литературы Алгоритм управления профилем кристалла для автоматического выращивания методом Чохральского
- Татарченко В.А. Устойчивый рост кристаллов. М.: Наука, 1988. 240 с.
- Bardsley W., Hurle D.T., Joyce G.C., Wilson G.//J. Crys. Growth. 1977. V. 40, N 1. P. 21-28.
- Цивинский С.В.//ИФЖ 1962. Т. 5, № 9. С. 59-65.
- Jeffry P. Wilde, Robert S., Feigelson//J. Crys. Growth. 1991. V. 113. P. 337-359.
- Satunkin G.A., Rossolenko S.H., Kurlov V.H. et al.//Cryst. Res. Technol. 1986. V. 21, N 9. P. 1125-1138.
- Россоленко С.Н. Управление процессом роста кристаллов из расплава: Дис. … канд. техн. наук. Черноголовка, 1987. 110 с.
- Бородин А.В., Бородин В.А., Ивлев А.Б. и др. Программно-технический комплекс для установок роста кристаллов из расплава//В этом номере. С. 20-24.
