Нанотехнология и нанометрия. Рубрика в журнале - Труды Московского физико-технического института
Статья научная
Проведена оценка методической погрешности измерений геометрических параметров объектов методом дефокусировки электронного зонда РЭМ, обусловленной зависимостью результата измерений от параметров зонда. Показано, что эта погрешность может быть уменьшена путем выбора оптимальных параметров зонда, при которых реальные условия измерений в наилучшей степени соответствуют требованиям расчетной модели. В результате значение методической погрешности снижается до уровня случайной погрешности измерений (5-10 нм).
Бесплатно
Статья научная
Рассматривается новый тип фотонного кристалла, состоящий из периодически расположенных слоев графеновых и диэлектрических дисков, погруженных в диэлектрическую среду. Рассчитаны зонная структура и спектр прохождения такого фотонного кристалла. Фотонные кристаллы на основе графена могут быть эффективно использованы в качестве частотных фильтров и волноводов в дальней области ИК-спектра. Благодаря существенному уменьшению поглощения на низких частотах в допированном графене в фотонном кристалле также подавляется затухание и скин-эффект. Обсуждаются преимущества фотонного кристалла на основе графена.
Бесплатно
Статья научная
В данной статье рассмотрены основные факторы, определяющие интенсивность излучения катодолюминофоров и эффективность автоэмиссионной лампы в целом, к ним относятся: условия возбуждения люминофоров электронным пучком, химический состав катодолюминофоров, а также особенности процессов изготовления люминесцентных экранов.
Бесплатно
Статья научная
Впервые экспериментально исследованы диэлектрические свойства МДП-структур на основе слоев оксида алюминия, полученных методом молекулярного наслаивания (МН). Определены значения диэлектрических параметров для слоев Al2O3 двух толщин. Обнаружено, что диэлектрическая релаксация в исследуемых структурах определяется вкладом дипольной и межфазной поляризаций. Температурно-частотная зависимость удельной проводимости указывает на существование прыжкового механизма переноса заряда с энергией активации ΔЕ = (0,15-0,30 ± 0,01) эВ.
Бесплатно
Исследование режимов магнетронного напыления тонких пленок титана для криогенных детекторов
Статья научная
Проведено исследование тонких пленок титана, получаемых при различных режимах магнетронного напыления на кремниевой подложке с помощью электрических измерений при Т = 300 K и 77 K, исследований на атомно-силовом микроскопе (АСМ) и рентгеновской дифрактометрии (XRD). Показано, как зависит остаточное удельное сопротивление пленок (и критическая температура сверхпроводящего перехода Тс) от параметров напыления. Данные сопоставлены с измерениями на АСМ и XRD.
Бесплатно
Исследование эрозии катода в отрицательном коронном разряде
Статья научная
Исследуется отрицательный коронный разряд в режиме импульсов Тричела и в безымпульсном режиме в электродной конфигурации острие-плоскость. Использовались катоды, изготовленные из меди, графита, вольфрама, алюминия и серебра. Обнаружено три режима импульсов Тричела: устойчивый, неустойчивый и стохастический. Эрозия катода наблюдалась в виде формирования элементарных кратеров диаметром 40-100 нм. Формирование элементарных кратеров объясняется электровзрывными процессами на катодной поверхности. В случае катодов из меди и серебра обнаружено частичное осаждение продуктов эрозии на катодной поверхности в виде нанокристаллических структур.
Бесплатно
Калибровка просвечивающего электронного микроскопа с использованием срезов рельефных структур
Статья научная
Предложен новый тест-объект для калибровки просвечивающего электронного микроскопа и растрового просвечивающего микроскопа. Тест-объект изготовлен путем ионного резания кремниевой рельефной структуры с аттестованными размерами элементов рельефа, что позволило его использовать как в диапазоне больших увеличений (при прямом наблюдении кристаллической решетки), так и в диапазоне средних (вблизи 30 000-х) увеличений.
Бесплатно
Статья научная
Рассматривается задача локализованного синтеза высокоориентированных углеродных нанотрубок на подложке методом химического газофазного осаждения, усиленного плазмой. Исследуется зависимость характеристик полученных массивов от параметров роста, локальные автоэмиссионные характеристики методом локального зондирования и характеристики полученных массивов в микродиоде.
Бесплатно
Метод нахождения приближенного решения задачи многочастотной акустооптической дифракции
Статья научная
Многочастотная дифракция хорошо описывается при помощи системы связанных уравнений, однако выражение решения такой системы в явном виде связана с рядом осложнений. В данной работе рассматривается подход к описанию многочастотной дифракции, позволяющий получить решение в общем виде, которое в дальнейшем может использоваться для решения обратной задачи - получения фурье-образа акустического сигнала, необходимого для требуемого распределения интенсивностей в дифракционном поле.
Бесплатно
Расчет поправки на поглощение в рентгеноспектральном микроанализе
Статья научная
Предложен способ расчета поправки на поглощение рентгеновского излучения с помощью новой функции распределения генерируемого электронным пучком характеристического рентгеновского излучения по глубине.
Бесплатно
Реактивное ионное травление поверхности синтетического алмаза
Статья научная
Осуществлено реактивное ионное травление синтетической поликристаллической алмазной плёнки и синтетических монокристаллов алмаза в плазмах на основе Ar, O2, их смесей и SF6. В плазмах на основе смеси Ar/O2 и на основе SF6 достигнуты соответственно скорости травления 6 нм/мин и 70 нм/мин и селективности к алюминию 10 и 4. Травление в плазме на основе Ar/O2 привело к выравниванию поверхности как поликристаллической алмазной плёнки, так и монокристаллического алмаза. Травление плазмой на основе SF6 привела к увеличению шероховатости поверхности монокристалла алмаза и перепылению алюминиевой маски.
Бесплатно
Статья научная
Выполнены измерения линейных размеров элемента нанорельефа с трапецеидальным профилем в растровом электронном микроскопе (РЭМ), работающем при ускоряющем напряжении 800 В, методом дефокусировки электронного пучка. Показано, что видеосигнал во вторичных электронах может быть представлен как кусочно-линейная функция с характерными точками излома. Установлено, что расстояния между экстремумами и точками начала возрастания сигнала линейно зависят от эффективного диаметра def, электронного пучка РЭМ. Экстраполяция этих прямых к def = 0 позволяет определить значения размеров верхнего и нижнего оснований упомянутого выше элемента нанорельефа и среднее значение проекции боковой стенки элемента.
Бесплатно
