Динамическое моделирование многомодового резонансного режима измерений в атомно-силовой микроскопии с пьезорезистивными активными кантилеверами

Проблема разработки высокоскоростных методов качественной и количественной характеризации материалов является одной из важнейших задач метрологии наносистем. В связи с этим представляет интерес исследование возможностей многомодового резонансного режима атомно-силовой микроскопии (АСМ), позволяющего расширить возможности АСМ в направлении повышения качества и достоверности количественного анализа изображений наноразмерных структур и нанообъектов. Предметом данной работы является рассмотрение вопросов создания динамической модели, описывающей взаимосвязанные механические и электрические процессы в саморегистрирующих активных кантилеверах, функционирующих в многочастотном резонансном режиме. Итогом работы является компьютерная динамическая модель АСМ, позволяющая исследовать процессы формирования сигналов, в управляющем и измерительных контурах АСМ при сканировании образцов в многочастотном режиме.