Динамическое моделирование многомодового резонансного режима измерений в атомно-силовой микроскопии с пьезорезистивными активными кантилеверами

Автор: Маринушкин П.С., Левицкий А.А., Иванов Т., Рангелов И.В.

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu

Статья в выпуске: 6 т.11, 2018 года.

Бесплатный доступ

Проблема разработки высокоскоростных методов качественной и количественной характеризации материалов является одной из важнейших задач метрологии наносистем. В связи с этим представляет интерес исследование возможностей многомодового резонансного режима атомно-силовой микроскопии (АСМ), позволяющего расширить возможности АСМ в направлении повышения качества и достоверности количественного анализа изображений наноразмерных структур и нанообъектов. Предметом данной работы является рассмотрение вопросов создания динамической модели, описывающей взаимосвязанные механические и электрические процессы в саморегистрирующих активных кантилеверах, функционирующих в многочастотном резонансном режиме. Итогом работы является компьютерная динамическая модель АСМ, позволяющая исследовать процессы формирования сигналов, в управляющем и измерительных контурах АСМ при сканировании образцов в многочастотном режиме.

Еще

Атомно-силовой микроскоп (асм), нано- и микроэлектромеханические системы (нэмс/мэмс), нанометрология, саморегистрирующий активный кантилевер, термомеханический привод

Короткий адрес: https://readera.ru/146279381

IDR: 146279381   |   DOI: 10.17516/1999-494X-0082

Статья научная